王如晨

　　一場訴訟，正將本土半導體設備企業上海中微推向全球公眾視野。這家企業的董事長尹志堯昨天在上海首次公開回應說：“美國應用材料公司(下稱‘應材’)的舉動是在混淆視聽。”他對《第一財經日報》說。他還表示，已聘請全美最著名的兩家律師事務所，將積極應訴。

　　應材在“混淆視聽”

　　此前，應材在美國加州對中微提出控告，理由是后者竊取其商業機密開發了半導體設備。

　　應材在訴狀中說，尹志堯辭去應材副總裁兼CTO前，一直管理等離子蝕刻產品團隊，參閱過“大量敏感信息和商業機密”，而中微副總裁陳愛華之前擔任另一產品經理，熟悉相關專利。他認為，中微如此短時間開發兩款設備，顯然侵犯了其商業秘密。它也因此認為，中微在美、日等地申請的兩項專利，應歸它所有，因為此前公司與中微4名高管簽過協議，規定任職期間與離開后1年內的專利歸于應材。

　　尹志堯表示，1984年開始，他就先后在英特爾、美國泛林半導體、應材主持等離子刻蝕技術，但這并不意味著中微技術來源于應材。至于陳愛華，其在應材相關部門做的設備，在類別與中微設備有明顯不同。

　　關于專利，尹志堯說應材“完全在推理”，因為其中之一與應材的領域完全無關，而另一項則是基于公開教科書而做的發明。在協議與專利關系上，尹志堯透露，應材有意刪掉一個條件，即協議并未規定，4名高管與應材工作無關的專利也歸應材所有。

　　“應材這么做，一定程度上讓不明真相的人以為，一些中國人拿了美國的好東西。”尹有些不平地說。他還補充說，全球半數以上的等離子刻蝕技術都與他有關，他目前擁有大約85項(包括正在申請中的)專利。

　　背后的競爭

　　雙方訴訟的背后，是一種顯而易見的商業競爭。中微前不久發布的兩類設備，正在中芯國際等多家企業中試運行，這直接威脅到應材的利益。

　　尹志堯透露了兩類設備的巨大市場。一條12英寸生產線，如果產能為5萬片，至少需要70臺化學薄膜設備、70臺等離子刻蝕設備，總價至少4億美元。未來5年，僅此兩項設備的年增長率，至少在10%以上。而目前能研發、生產兩類設備的企業，全球分別只有3家。

　　在技術基礎上，尹志堯認為，中微基于亞洲運營的商業與產品策略已對應材構成足夠挑戰。他說，全球半導體產業已進入成熟期，產業鏈其他環節均正加速向亞洲尤其中國遷移，而設備業卻一直固守原地，這對整個產業發展十分不利，而這也正是他離開應材創立中微的主要原因。

　　尹志堯表示，公司正在積極應對，而這種訴訟往往大公司敗訴的多。

　　不過，一位半導體產業人士表示，應材財力雄厚，恐怕不在乎輸贏，拖住中微，影響其客戶關系才是目的。尹志堯坦陳，應材的舉動確實讓部分客戶有了一點疑慮，不過公司有足夠信心贏得勝利。

　　“我們馬上將完成第三期融資，大約9000萬美元。”他透露，未來公司將尋求在美國或歐洲上市。此前三年，它兩期融資額為1.1億美元。